พระราชวรวงศ์เธอ พระองค์เจ้าวิไลยวรวิลาส เป็นต้นราชสกุลวิไลยวงศ์ มีพระโอรสและพระธิดา 8 องค์ ได้แก่

1. หม่อมเจ้าพิมพ์พักตร์พิไลย วิไลยวงศ์ (พ.ศ. 2428 – 23 กรกฎาคม พ.ศ. 2475)
2. หม่อมเจ้าอุทัยพัฒนพงศ์ วิไลยวงศ์ (ประสูติ พ.ศ. 2431)
3. หม่อมเจ้าวรนาถรวิไลยวงศ์ วิไลยวงศ์ บางแห่งว่าพระนามหม่อมเจ้านฤนารถวิไลยวงศ์ (พ.ศ. 2434 – 5 พฤศจิกายน พ.ศ. 2461)
4. หม่อมเจ้าวรวงศ์พิสิษฐ์ วิไลยวงศ์ (ประสูติ พ.ศ. 2438)
5. หม่อมเจ้าเล็ก วิไลยวงศ์ (พระราชทานเพลิง ณ วัดดุสิดาราม เมื่อวันที่ 24 กุมภาพันธ์ พ.ศ. 2444)
6. หม่อมเจ้าอรทิศจรูญ วิไลยวงศ์ หรือหม่อมเจ้าอรอุทิศจรูญ (พ.ศ. 2440 – 23 มกราคม พ.ศ. 2454)
7. หม่อมเจ้าเกียรติวงศ์วิลาศ วิไลยวงศ์
8. หม่อมเจ้าเกตุทัตวุฒิธาดา วิไลยวงศ์ หรือหม่อมเจ้าเกตุทัตวุฒิภาพธาดา วิไลยวงศ์